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fuji超高真空窗TF型產(chǎn)品特點(diǎn)介紹
它被用作國際熱核實(shí)驗(yàn)堆(ITER)激光引入和測量的真空窗口,正在日本、美國、歐盟、俄羅斯、韓國、中國、印度七極推廣。它還用于高精度傳輸以及加速器相關(guān)應(yīng)用,這是日本原子能機(jī)構(gòu)和我公司共同開發(fā)的產(chǎn)品,作為所有必要實(shí)驗(yàn)和開發(fā)的真空窗口。
a) 由于窗口材料不存在熱變形,因此透射光(激光)可以按窗口材料的預(yù)期傳輸,而不會發(fā)生偏振、變形或散射。
b) 還可制造表面精度高(特殊規(guī)格)的產(chǎn)品。當(dāng)然,該結(jié)構(gòu)即使在真空狀態(tài)下也能保持精度。但是,根據(jù)窗戶材料類型和法蘭尺寸,可能會有限制。(我們在整個有效直徑上擁有 λ/10 的記錄)
a) AR涂層:整個有效直徑上的均勻涂層,沒有不均勻或陰影。
b) 由于不使用含有高蒸氣壓金屬Zn的低級粘合劑,真空容器內(nèi)部不會因Zn升華而受到污染,窗口表面也不會起霧。
a) 由于不使用鐵磁性金屬或強(qiáng)活性金屬科伐金屬,因此可以在磁場和輻射環(huán)境中最佳使用。
b) 耐壓結(jié)構(gòu):即使內(nèi)部壓力增加,也不會發(fā)生泄漏或窗料脫落。標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的壓差最大為 1 atm,但也可以制造高壓類型。
其他:帶楔塊(僅限大氣表面)、帶凹凸透鏡、雙面帶邊(最多114型)、特殊法蘭等。
窗口材料類型:CaF 2、BaF 2、MgF 2、ZnSe、Ge、Si、LiF、合成石英、水晶石英、藍(lán)寶石、BK7、KRS-5、Tempax、鉛玻璃等。
規(guī)格 法蘭材質(zhì) 標(biāo)準(zhǔn):SUS304L / 特殊訂購:SUS316L、Ti等
型號名稱 | D | 時間 | A | 窗戶材質(zhì)t | ≒長度 |
---|---|---|---|---|---|
TF34 | 34 | 10.0 | 12 | 1.5 | 3.0 |
TFW 34 | 34 | 13.5 | 12 | 1.5 | 7.2 |
TFH34 | 34 | 13.0 | 12 | 6.0 | 3.0 |
TF70 | 70 | 12.7 | 33 | 3.0 | 4.0 |
TFW70 | 70 | 18.5 | 33 | 3.0 | 9.0 |
TFH70 | 70 | 21.7 | 33 | 12.0 | 4.0 |
TF114 | 114 | 17.5 | 60 | 4.0 | 6.0 |
TFW114 | 114 | 21.5 | 60 | 4.0 | 9.0 |
TFH114 | 114 | 33.5 | 60 | 20.0 | 6.0 |
TF152 | 152 | 20.0 | 100 | 5.5 | 7.0 |
TFH152 | 152 | 44.5 | 100 | 30.0 | 7.0 |
TF203 | 203 | 22.0 | 140 | 8.0 | 8.0 |
(筆記)
W 符號表示雙邊型。
符號H表示超高表面精度類型。
“長度"是指從大氣側(cè)法蘭面到窗面的尺寸。
He 泄漏量 <1×10 -10 Pa?/秒(實(shí)際結(jié)果 = 0.1×10 -10 Pa?/秒) 烘烤 <200℃ 但是,根據(jù)窗材料類型、法蘭尺寸等,可能會有所不同。
產(chǎn)品評級和規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
金屬密封 | 從小尺寸到超大尺寸 |
無熱應(yīng)變 | 無需熱處理工藝組裝,窗口材料內(nèi)部無熱應(yīng)變,可進(jìn)行高精度測量。 |
破損預(yù)防機(jī)制 | 窗材料具有彈性,因此,通過法蘭螺栓不平衡緊固,可以抵抗裂縫和泄漏。 |
耐壓結(jié)構(gòu) | 耐壓結(jié)構(gòu):即使腔體側(cè)壓力比大氣側(cè)強(qiáng),窗材也不會脫落、不泄漏。 |
非磁性、無輻射金屬成分 | 非磁性、無輻射金屬成分:不干擾磁場,琥珀色高輻射環(huán)境。(標(biāo)準(zhǔn)法蘭:SU304,定制:SUS316可用) |
氦氣泄漏 | 氦氣泄漏:<1x10-10Pam3/秒 |
推薦烘烤<200℃(最高), 取決于窗戶尺寸和材料 | |
涂層 | 可提供多種涂層,窗口先涂層后組裝,無需熱處理,精度高 |
對焊法蘭 | CF標(biāo)準(zhǔn)法蘭(可提供其他標(biāo)準(zhǔn)法蘭) |
可定制 | 超大口徑、內(nèi)壓或外壓高壓、高精度拋光、凸凹透鏡、特殊法蘭等。 |
為每個產(chǎn)品發(fā)出檢驗(yàn)表 | H |
也可以是φ440mm以上??膳c反向壓力一起使用。而且,還可以烘烤。然而,在一些情況下,可以使用強(qiáng)制冷卻結(jié)構(gòu)。
窗戶材料可以重新拋光或更換(由我們執(zhí)行)。運(yùn)行成本顯著降低。
可在短時間內(nèi)啟動至超高真空范圍。
a) 由于窗口材料不存在熱變形,因此透射光(激光)可以透射窗口材料的原始光,而不會發(fā)生偏振、畸變或散射。
b) 還可制造表面精度高(特殊規(guī)格)的產(chǎn)品。當(dāng)然,該結(jié)構(gòu)即使在真空狀態(tài)下也能保持精度。然而,根據(jù)窗口材料類型和有效直徑,可能存在限制。(我們在整個有效直徑上都有 λ/10 的記錄。λ/20 也是可能的。)
a) AR涂層:整個有效直徑上的均勻涂層,沒有不均勻或陰影。
b) 由于我們不使用含有大量鋅(一種高蒸氣壓金屬)的低級粘合劑,因此不會因鋅的升華而污染真空容器內(nèi)部或使窗口表面起霧。
a) 由于不使用鐵磁性金屬或強(qiáng)活性金屬科伐金屬,因此可以在磁場和輻射環(huán)境中最佳使用。
b) 耐壓結(jié)構(gòu):即使內(nèi)部壓力增加,也不會發(fā)生泄漏或窗料脫落。
XYZ/15G/3000cycle,通過(日本原子能研究所測試結(jié)果)
其他:兩側(cè)帶楔塊、凹凸透鏡、兩側(cè)有棱、特殊法蘭等。
窗戶材料類型:可能受到限制。
規(guī)格 法蘭材質(zhì) 標(biāo)準(zhǔn):SUS304L / 特殊訂購:SUS316L、Ti等
型號名稱 | D | A |
---|---|---|
VX114 | 114 | (48) |
VX152 | 152 | (74) |
VX203 | 203 | (100) |
VX253 | 第253章 | (160) |
VX305 | 305 | (200) |
VX356 | 第356章 | (220) |
VX406 | 406 | (250) |
VX506 | 506 | (350) |
VX606 | 606 | (440) |
He泄漏量 <1×10 -10 Pa?/sec (結(jié)果 <2.0× -12 Pa?/sec) 烘烤 <200℃
然而,根據(jù)窗戶材料類型、法蘭尺寸等,它可能會有所不同。
注:有效直徑、窗口厚度、法蘭厚度等將在會議上確定。
產(chǎn)品評級和規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
世界上只有一個具有高性能!
有效直徑可達(dá)Φ440mm以上?。?/span>
您也可以將其用作反壓。
在超過 90% 的區(qū)域內(nèi)可實(shí)現(xiàn)超高性能平坦度。
lamda/20 (lamda=633nm) 也可以。注意,法蘭尺寸可能有限。請聯(lián)系我們。
可重新拋光和重新放置(在我們的實(shí)驗(yàn)室中)!
運(yùn)行成本將會降低。
無熱效應(yīng)!!
由于自身材料采用特殊密封技術(shù),無需熱組裝工藝,因此透光率高,無偏振和色散。
不均勻光學(xué)鍍膜,沒有任何不均勻現(xiàn)象??!
涂層后,我們在常溫下將窗口安裝到法蘭上。(AR、BBAR、導(dǎo)電層等)
無磁無輻射??!
如您所知,可伐材料具有很強(qiáng)的磁性和活化性,我們不使用任何可伐材料,因此您也可以在磁場和輻射場中使用我們的法蘭。
因?yàn)槲覀儾皇褂萌魏魏更c(diǎn),所以您的腔室不會受到污染!
周知,鋅是高蒸氣壓金屬,如果法蘭上含有鋅焊點(diǎn),則不能進(jìn)行烘烤。
沖擊持久穩(wěn)??!
XYZ/15G/3000cycle,通過日本原子能機(jī)構(gòu)測試合格。
即使是大直徑法蘭也可以烘烤??!
因?yàn)槲覀兊姆ㄌm會自動補(bǔ)償熱膨脹差,注意,可能會采用強(qiáng)制冷卻。