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半導(dǎo)體設(shè)備驗收用數(shù)字水平儀SELN-001B介紹
數(shù)字水準(zhǔn)儀是非常有用的安裝調(diào)整和測量工具,可以應(yīng)用到調(diào)整大多數(shù)類型的機器,例如:調(diào)平機床底座、軋輥、工作臺等。0.0.1 mm/m[mils/inch]是機械安裝水平面的正常要求,以確保機械設(shè)備的正確功能。其他應(yīng)用包括檢查直線度、平面度和平行度。
在GB/T1182《形狀和位置公差》國家標(biāo)準(zhǔn)中,將形位公差中的位置公差分為平行度、垂直度、傾斜度、位置度、同軸度、圓跳動、全跳動等,這些位置公差的對象是單一工件自身的各個點、線、面,同時,標(biāo)準(zhǔn)中對這些位置公差有專門的公差符號。
而機械產(chǎn)品安裝過程中常用的位置公差通常是指兩個工件之間或工件和基準(zhǔn)面之間的關(guān)系,一般包括水平度、平行度和垂直度三類。需要注意的是,機械安裝過程中的“平行度"和“垂直度"只是借用了《形狀和位置公差》中“平行度"和“垂直度"的概念,其含義和要求相差甚遠(yuǎn),且沒有公差符號表示;“水平度"的概念類似于形位公差中的“平面度",但僅限于平行于地面的平面。
以“平行度"為例,單一工件要素平行度測量的主要工具是百分表或千分表,而機械安裝過程中的平行度則根據(jù)對象的不同采取不同的檢測工具和手段。
精密機器,半導(dǎo)體制造設(shè)備等的水平調(diào)整適合?。「纳圃瓉淼乃疁?zhǔn)調(diào)整工作!!擴大了測量范圍。(±0.3°deg)!!
5個優(yōu)點
1、水平為X,Y軸的角度精度為±0.001deg(17.5μ/m)。
2、上下間隔狹窄部位的水平觀測也OK!
3、通過瞬時的數(shù)字測量判斷,可以統(tǒng)一作業(yè)者的標(biāo)準(zhǔn)。
4、通過雙軸同時調(diào)整,縮短了調(diào)整作業(yè)工時。
5、設(shè)定合格角度范圍,即使是初學(xué)者,水平調(diào)整作業(yè)也很輕松簡單!